一般單筒顯微鏡金相顯微鏡僅需配用單色光，并在試樣上裝置標準平面玻璃就可以做多光束干涉的金相研究。多光束干涉顯微鏡的光程如圖3，它與一般金相顯微鏡的構造基本相同。標準平面玻璃靠樣品的一面涂有半透明的銀（或鋁）的薄膜，又稱為干涉試片，干涉試片可以是平面的，或不同曲率的。如MeF顯微鏡備有六個具有不同反射能力及不同曲率半徑的試片，使用時要根據觀察物的表面曲率及對光的吸收能力進行選擇。見表1：有強反射能力的試樣（如金屬），應選用涂銀半透明的試片；當物體為凹入形狀時，應選表面為凸起形狀的試片，目的是使干涉試片與物體盡可能靠近。

　　為了得到細而清晰的干涉條紋，發展了多光束干涉顯微鏡。即使光線在兩平行（或近乎平行）的平面問多次反射而產生多光束干涉。以顯示磨面上更微小的高度差。
　　
　　多光束干涉顯微裝置要求入射光為單色強平行光，紫外物鏡且盡可能垂直入射試樣表面；干涉平面必須非常均勻地噴鍍一層金屬薄膜，并且鍍層應具有高反射系數及低吸收率；兩反射面問的距離愈小愈好，zui大不超過入射光波長的幾倍。