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當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心高精度電動(dòng)平臺(tái)系列壓電陶瓷納米臺(tái)H45壓電陶瓷納米臺(tái) 標(biāo)準(zhǔn)線性平移臺(tái) 12~60μm

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壓電陶瓷納米臺(tái) 標(biāo)準(zhǔn)線性平移臺(tái) 12~60μm

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產(chǎn)品型號(hào)：H45

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品牌	PDV/派迪威	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

產(chǎn)品描述：

1、高速運(yùn)動(dòng)、直接驅(qū)動(dòng)

2、設(shè)計(jì)小巧緊湊

3、閉環(huán)控制

4、可堆疊進(jìn)行XY 運(yùn)動(dòng)

X 軸納米定位線性位移臺(tái)是基于壓電控制的線性位移臺(tái)，行程包括 12/30/45/60μm 及可定制其他行程版本。

H45 系列壓電納米位移臺(tái)采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，利用有限元優(yōu)化的固態(tài)撓性導(dǎo)向系統(tǒng)可確保平移運(yùn)動(dòng)。平臺(tái)采用了無摩擦柔性機(jī)構(gòu)，壓電位移臺(tái)無需維護(hù)，無磨損，并具有快速響應(yīng)和快速穩(wěn)定的性能，使其適用于動(dòng)態(tài)過程，例如高頻誤差補(bǔ)償，跟蹤，快速步進(jìn)或連續(xù)掃描等。閉環(huán)版本具有高分辨率應(yīng)變片式位置傳感器，可實(shí)現(xiàn)高精度和可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)，還可以補(bǔ)償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計(jì)。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運(yùn)行。

壓電平臺(tái)固定是通過移動(dòng)面和底板上的螺紋孔實(shí)現(xiàn)的。若要安裝到具有標(biāo)準(zhǔn)柵格的光學(xué)平臺(tái)或其他組件上，請(qǐng)使用轉(zhuǎn)接板轉(zhuǎn)接。在緊固過程中，應(yīng)避免過大的彎矩載荷和作用在移動(dòng)面與外殼之間的側(cè)向力，這些外力可能會(huì)損壞位移臺(tái)。

選配功能：可定制轉(zhuǎn)接工裝、可選PZT&Sensor 連接器及線纜長度、可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系、可組維、可定制其他行程。

應(yīng)用領(lǐng)域：掃描顯微鏡、光纖端面檢測(cè)、干涉儀、測(cè)量技術(shù)、3D 錫膏檢測(cè)、光子、光纖定位、干涉、納米光刻、納米定位、電化學(xué)加。

產(chǎn)品參數(shù)：

規(guī)格型號(hào) 1	H45-01	H45-030	H45-045	H45-060	公差 8
運(yùn)動(dòng)軸	X	X	X	X	-
集成傳感器	SGS	SGS	SGS	SGS	-
標(biāo)稱行程范圍 2（@0~+120V）	12 μm	30 μm	45 μm	60 μm	±5%
ZUI大行程范圍 2（@-20~+150V）	20 μm	40 μm	60 μm	80 μm	±20%
分辨率 3	0.1 nm	0.3 nm	0.4 nm	0.5 nm	typ.
最小移動(dòng)步長 4	0.4 nm	1.0 nm	1.5 nm	2.0 nm	typ.
線性誤 cha	0.02%~0.05%	0.02%~0.05%	0.02%~0.05%	0.02%~0.05%	typ.
重復(fù)定位精度（全行程）	0.05%	0.05%	0.05%	0.05%	typ.
角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn)）	10 μrad	10 μrad	10 μrad	10 μrad	typ.
承載能力 5	50 N	50 N	50 N	50 N	Max.
諧振頻率（0g）	3000 Hz	2500 Hz	2000 Hz	1500 Hz	±20%
運(yùn)動(dòng)方向剛度	40 N/μm	40 N/μm	40 N/μm	40 N/μm	±20%
運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力	450N / 100N	450N / 100N	450N / 100N	450N / 100N	±20%
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)	PZT	PZT	PZT	PZT	-
工作溫度范圍	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	typ.
線纜長度 6	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	-	-	-	-	-
外形尺寸（長×寬×高）	45 ×45 ×15 mm	45 ×63 ×15 mm	45 ×81 ×15 mm	45 ×99 ×15 mm	-
重量 7	65 g	100 g	150 g	200 g	±5%
PZT&Sensor 連接器	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO	-
本體材質(zhì)	鋁	鋁	鋁	鋁	-

注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測(cè)得，欲了解更多信息，請(qǐng)與我們聯(lián)系。表中“-"表示為不適用。

1.尾綴“-S"為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶"-S，無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。

2.ZUI大驅(qū)動(dòng)電壓為-20V~+150V，對(duì)于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動(dòng)電壓在0..+120V，更大行程請(qǐng)咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。

3.分辨率即定位噪聲。因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。通常使用RMS（1σ）值進(jìn)行測(cè)量和指定。閉環(huán)分辨率為傳感器噪聲，驅(qū)動(dòng)器電子噪聲和命令噪聲等的組合。

4.指通過干涉儀測(cè)得的壓電平臺(tái)可移動(dòng)的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。好的情況下，參數(shù)表中為16-Bit對(duì)應(yīng)的位移步長值。

5.軸向載荷，更高的負(fù)載請(qǐng)咨詢，注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會(huì)對(duì)柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。

6.更長的線纜長度請(qǐng)咨詢。

7.臺(tái)體重量不包括線纜及連接器的重量。

8.公差中Max.表示ZUI大值；typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值，檢測(cè)報(bào)告中會(huì)給出實(shí)際的測(cè)量數(shù)據(jù)值。

產(chǎn)品尺寸：

壓電陶瓷納米臺(tái) 標(biāo)準(zhǔn)線性平移臺(tái) 12~60μm