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當前位置:首頁產品中心高精度電動平臺系列壓電陶瓷納米臺NM-030小體積、緊湊型線性壓電陶瓷納米定位臺

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小體積、緊湊型線性壓電陶瓷納米定位臺

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產品型號:NM-030
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品牌PDV/派迪威應用領域綜合

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產品描述:
NM-030緊湊型線性納米定位臺采用平行運動學機械設計結構,其位移沿Z方向可提供30μm行程的運動。其緊湊的設計使其成為許多光子學和光纖定位應用的理想工具。
Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅動的線性位移臺。
NM-030位移臺可以輕松地與XY和壓電偏轉旋轉系統結合使用,以提供所有自由度的定位。閉環版本具有高分辨率應變片式位置傳感器,可實現高精度和可重復的運動,還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環電橋設計。它可以在開環或閉環控制中運行。
NM-030非常適用于小部件例如反射鏡和激光二極管)的納米級精確定位,特別是在需要長期穩定性的應用中。

產品參數:

型號NM-030NM-030S公差
運動軸ZZ——
集成傳感器——SGS——
標稱行程范圍(@0~+120V)30μm30μm±5%
最大行程范圍(@-20~+150V)38μm38μm±20%
分辨率0.3nm0.6nmtyp.
最小移動步長1.0nm1.0 nmtyp.
線性誤cha——0.02%~0.05%typ.
重復定位精度(全行程)——0.05%typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉)5μrad5μradtyp.
承載能力8N8NMax.
諧振頻率(0g)350Hz350 Hz±20%
運動方向剛度0.5N/μm0.5N/μm±20%
運動方向推力/拉力30N/10N30N /10N±20%
驅動機構壓電陶瓷壓電陶瓷——
工作溫度范圍-20~+80℃-20~+80 °℃typ.
線纜長度1.5m1.5 m±10mm
中空尺寸——————
外形尺寸(長×寬×高)27×27×20mm27×27×20mm——
重量40g40g±5%
PZT&Sensor連接器LEMOLEMO——
本體材質鋼、鋁鋼、鋁——

注:所有規格參數基于室溫(22°C±3°C)測得,欲了解更多信息,請與我們聯系。表中“-"表示為不適用。

1.尾綴“-S"為閉環,內置位置傳感器。開環尾綴不帶“-S,無線性誤差、重復度數據。
2.最大驅動電壓為-20V~+150V,對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓在 0...+120V,更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統無摩擦,所以系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用 RMS(1σ)值進行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值,它主要由壓電控制器的 DAC 分辨率決定。最佳情況下,參數表中為 16-Bit 對應的位移步長值。
5.軸向載荷,更高的負載請咨詢,注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中 Max.表示最大值;typ.表示標準典型數據值,檢測報告中會給出實際的測量數據值

產品尺寸:

小體積、緊湊型線性壓電陶瓷納米定位臺


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