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當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心高精度電動平臺系列壓電陶瓷納米臺NM-080Z 軸高精度、緊湊型線性壓電陶瓷納米定位臺

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Z 軸高精度、緊湊型線性壓電陶瓷納米定位臺

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產(chǎn)品型號：NM-080

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品牌	PDV/派迪威	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

定制品，價格請聯(lián)系客服

產(chǎn)品描述：

NM-080緊湊型線性納米定位臺，沿Z方向可提供100μm或更大行程的運(yùn)動。

其緊湊的設(shè)計使其成為許多光子學(xué)和光纖定位應(yīng)用的理想工具。Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅(qū)動的線性位移臺。

該系列納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅(qū)動元件，利用有限元優(yōu)化的集成態(tài)撓性導(dǎo)向系統(tǒng)可確保好的平行運(yùn)動。由于采用了無摩擦柔性機(jī)構(gòu)，壓電位移臺無需維護(hù)，無磨損，并具有快速響應(yīng)和快速穩(wěn)定的性能，使其適用于動態(tài)過程，例如高頻誤差補(bǔ)償，跟蹤，快速步進(jìn)或連續(xù)掃描。閉環(huán)版本具有高分辨率應(yīng)變片式位置傳感器，可實現(xiàn)高精度和可重復(fù)的運(yùn)動，還可以補(bǔ)償壓

電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運(yùn)行。

壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實現(xiàn)的。若要安裝到具有標(biāo)準(zhǔn)柵格的光學(xué)平臺或其他組件上，請使用轉(zhuǎn)接板轉(zhuǎn)接。在緊固過程中，應(yīng)避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側(cè)向力，這些外力可能會損壞位移臺。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號	NM-080	NM-080S	公差
運(yùn)動軸	Z	Z	——
集成傳感器	——	SGS	——
標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V)	80μm	80μm	±5%
最大行程范圍(@-20~+150V)	110μm	110μm	±20%
分辨率	0.8nm	1.6nm	typ.
最小移動步長	3.0nm	3.0 nm	typ.
線性誤cha	——	0.02%~0.05%	typ.
重復(fù)定位精度(全行程)	——	0.02%	typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn))	5μrad	5μrad	typ.
承載能力	8N	8N	Max.
諧振頻率(0g)	300Hz	300 Hz	±20%
運(yùn)動方向剛度	0.3N/μm	0.5N/μm	±20%
運(yùn)動方向推力/拉力	30N/10N	30N /10N	±20%
驅(qū)動機(jī)構(gòu)	壓電陶瓷	壓電陶瓷	——
工作溫度范圍	-20~+80℃	-20~+80 °℃	typ.
線纜長度	1.5m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	——	——	——
外形尺寸(長×寬×高)	40×40×22mm	40×40×22mm	——
重量	100g	100g	±5%
PZT&Sensor連接器	LEMO	LEMO	——
本體材質(zhì)	鋼、鋁	鋼、鋁	——